マイクロサーボ弁 (Micro air valve)

バルブ内を流れる空気流をBMFの冷却に使うことで省エネ低コストのサーボ弁を作ることができます。
電流や電圧に対応して空気量が変わりますが、フィードバックがかかるため電圧や電流が一定なら流量も一定になります。
軽量小型化が可能で、動作音がありません。精密な血圧計に使われた実績があります。